晶核三養(yǎng)一什么意思
2025-10-09
"晶核三養(yǎng)一"是一種半導(dǎo)體制造工藝中的術(shù)語(yǔ),通常用于描述晶體管的制造過(guò)程。具體來(lái)說(shuō)它是指在晶體管制造過(guò)程中,將晶體管的晶核、擴(kuò)散、氧化和退火四個(gè)步驟合并在一起進(jìn)行處理,以提高生產(chǎn)效率和降低成本。 其中晶核是指在半導(dǎo)體材料上形成的微小晶體,它是晶體管制造的基礎(chǔ)。擴(kuò)散是指將摻雜材料(如硼、磷等)通過(guò)高溫處理加入到半導(dǎo)體材料中,以改變其電學(xué)性質(zhì)。氧化是指在半導(dǎo)體表面形成一層氧化物...