半導(dǎo)體sod是什么意思

發(fā)布時(shí)間：2025-11-07 | 來源：互聯(lián)網(wǎng)轉(zhuǎn)載和整理

半導(dǎo)體SOD 是用于硅薄膜制備工藝的涂覆物質(zhì)（Spin-on Dielectrics，簡稱 SOD），即半導(dǎo)體存儲芯片的淺溝槽隔離(STI)的隔離填充物，在半導(dǎo)體的晶體管與晶體管之間起到絕緣作用。

SOD 產(chǎn)品主要應(yīng)用于 DRAM 和 NAND 制造過程的 STI 技術(shù)中，填充微電子電路之間的溝槽，能夠在器件性能保持不變的前提下，使得隔離區(qū)變得更小，在 DRAM 芯片中還能起到片層間絕緣的作用，實(shí)現(xiàn)高密存儲電路的技 術(shù)工藝，提升電路效率，是半導(dǎo)體集成電路芯片制造的核心技術(shù)工藝環(huán)節(jié)。