半導(dǎo)體sod是什么意思
2025-11-07
半導(dǎo)體SOD 是用于硅薄膜制備工藝的涂覆物質(zhì)（Spin-on Dielectrics，簡(jiǎn)稱 SOD），即半導(dǎo)體存儲(chǔ)芯片的淺溝槽隔離(STI)的隔離填充物，在半導(dǎo)體的晶體管與晶體管之間起到絕緣作用。 SOD 產(chǎn)品主要應(yīng)用于 DRAM 和 NAND 制造過(guò)程的 STI 技術(shù)中，填充微電子電路之間的溝槽，能夠在器件性能保持不變的前提下，使得隔離區(qū)變得更小，在 DRAM 芯片中還能起到片層間絕緣的作用...