pr膠是什么
2025-09-29
PR 是FAB工藝中曝光使用的光刻膠簡(jiǎn)稱(chēng)全稱(chēng)是Photoresist，其實(shí)在半導(dǎo)體行業(yè)都是需要光刻的，PR是光刻膠的統(tǒng)稱(chēng) 有很多種，成分也不一樣，性質(zhì)也各有區(qū)別，分為正向光刻膠 負(fù)向光刻膠。 就是負(fù)性光刻膠，受特定波長(zhǎng)的光線(xiàn)照射后這種類(lèi)型的光刻膠會(huì)變性硬化，顯影時(shí)顯影液會(huì)把其他未受光照的部分洗掉...