pr膠是什么
發(fā)布時(shí)間：2025-09-29 | 來源：互聯(lián)網(wǎng)轉(zhuǎn)載和整理
PR 是FAB工藝中曝光使用的光刻膠簡稱全稱是Photoresist，其實(shí)在半導(dǎo)體行業(yè)都是需要光刻的，PR是光刻膠的統(tǒng)稱 有很多種，成分也不一樣，性質(zhì)也各有區(qū)別，分為正向光刻膠 負(fù)向光刻膠。
就是負(fù)性光刻膠，受特定波長的光線照射后這種類型的光刻膠會(huì)變性硬化，顯影時(shí)顯影液會(huì)把其他未受光照的部分洗掉，從而把mask上的pattern投射到glass上